なぜ金コーティングされた反射板がIR装置にとって重要なのか
半導体ウェーハを加工する際、最も重要なのは、電力を無駄にしないように、できるだけ多くの熱をウェーハの表面に伝えることです。
多くの人々は、通常のアルミニウム製の反射板から始めます。それでも十分ですが、アルミニウムは赤外線エネルギーを過剰に吸収してしまう傾向があります。まるでボールをスポンジに当てて跳ね返そうとするようなものです。そこで役立つのが金です。
秘密は反射にあるのです。
アルミニウムは可視光には優れていますが、長波長の赤外線に対しては効果がありません。一方、金はそのエネルギーを直接跳ね返します。そうすることで、熱が機械の筐体内部に漏れ出すことなく、ウェーハに戻されます。
その結果、熱の分布がよりスムーズになり、焦点もより正確に合います。
形状を正確に決定する
単に金属に金を塗るだけではありません。まず、アルミニウム製の基板の放物線状の曲面を丁寧に作り出します。形が完璧になったら、その上に正確な厚さの金層を施します。これにより、熱が必要な場所に正確に届き、面積は小さくても効果は高くなります。
しかし、注意点もあります。加熱効率が上がると、ランプの筐体にかかる負荷も増えます。高ワット数のランプを使用する場合、冷却システムがその負荷に対応できるかが重要です。反射されたエネルギーのせいで筐体が過度に熱くなると、ランプは想定以上に早く壊れてしまいます。
実際のメリットとは？
良いことに、これらの反射板は基本的にそのまま交換可能です。全体の設備を再構築する必要はありません。
交換した後は、2つの選択肢があります。1つは、電力代を節約するためにワット数を下げること。もう1つは、その効率を活用して、処理時間を短縮することです。これにより、推測に頼ることなく、支払った電力がすべてウェーハの加工に使われるようになります。