真空チャンバー内での熱の無駄遣いをやめよう 正直言って、真空チャンバー内でエネルギーを無駄にするのは、単なる悪い設計です。シリコンウェーハを加熱するとき、基板に当たらない1ワットでもすべて無駄になります。その結果、チャンバーの壁が過度に加熱され、冷却システムも余計な負担を強いられます。だからこそ、...

真空対応の赤外線ヒーター：なぜウェーハ製造工場は、0.1℃という高精度な温度制御のために、再び当社のR7sハロゲンランプを選ぶのか 私たちがこの真空対応の赤外線ヒーターを開発したのは、単純な理由からです。それは、チャンバー内の温度を常に安定させるためです。温度の変動や漏れは一切許されず、正確で再現...