カーボンナノチューブ製造用ヒーター

オンリソグラフィ工程のフォトレジストベークは、熱予算がライン幅制御に変わる工程です。ソフトベークの温度がたった1度でも変動すると、溶剤の揮発挙動が変わります。ハードベークでウェハ全体の均一性が保てなければ、CD（クリティカルディメンション）の厳密な均質性は期待できません。ここでカーボンナノチューブ...