クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター
なぜ半導体の硬化処理に赤外線を使用するのか
半導体洗浄室で従来行われてきた乾燥や硬化処理は、対流や溶剤を利用する方法ですが、もはや十分ではありません。今は「グリーン」で鉛フリーの基準へと移行していく中で、赤外線ヒーターが役立つのです。
考えてみてください。従来のオーブンでは、空気を加熱するために大...
クリーンルームの設備をアップグレードするファブ
もし、クラス100(ISO 5)の洁净室を運営しているのであれば、粒子による汚染という問題がどれほど深刻か、ご存知でしょう。安価なヒーターから出る微小な破片だけで、ウェーハが壊れてしまいます。それは本当に大惨事です。
だからこそ、私たちは赤外線ランプには高純度の合成石英を使用しているのです。
ほこ...
クリーンルーム用赤外線ヒーター
クリーンルーム内のヒーターを安全に保つために(そして、あなたの精神も守るために)
クリーンルームでは、わずかなミスでも許されません。ほんの少しのほこりや偶発的な電気的パルスだけでも、単なる迷惑どころか、大事故を引き起こす原因となります。こうした場所用の赤外線ヒーターを作る際、私たちは、素子がどれだ...