グローブボックス赤外線ヒーター素子

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベークプロファイルは単なる提案ではなく、歩留まりを確保するかスクラップを発生させるかの境界線である。グローブボックス作業では、チャンバーを汚染せずに安定して目標温度に達する熱源が求められる。弊社はその制約内で動作するグローブボックス用赤外線ヒーターエレメントを...