300mmラインでは、すでに熱管理の限界に達しています。ソフトベイク時に半度の温度変動があるだけで、フォトレジストの形状が変わってしまいます。また、ハードベイク時の不均一性により、不要な場所に余分な膜が残ってしまいます。このような変動は、作業の進行を遅らせるだけでなく、廃棄品が増える原因にもなりま...

300mmファブラインでは、フォトレジストのソフトベイク時の温度変動やウェーハ乾燥時の粒子の発生を許容することはできません。熱制御が厳しい状況下では、加熱要素は単なるハードウェアではなく、プロセスそのものです。当社のオンライン赤外線加熱モジュールは、まさにそうした状況に対応するために設計されており...