工場の乾燥工程におけるエネルギー監査

ファブを清潔に保ち、歩留まりを高める クラス100のクリーンルームを運用しているなら、粒子が発生するという悩みはよくご存知でしょう。安価なヒーターから出るわずかな破片だけで、ウェーハがダメになってしまいます。これは非常に厄介で、費用もかかり、歩留まりも低下してしまいます。 そのため、私たちは通常の...