装置をスペースヒーターのように使わないでください ほとんどの加熱素子は、エネルギーをあちこちに放出してしまいます。クリーンルームでは、これは大きな問題です。もし、あらゆる方向に熱を放出するランプを使用していると、装置の内側の壁面がその熱をすべて吸収してしまいます。 その結果、装置のケースが高温にな...

クリーンルーム用のトロリーヒーターがずれないようにする方法 半導体製造工場で作業を行う際、トロリーヒーターはウェーハを温めるだけの役割を果たすわけではありません。実際には、無菌室の中で大規模な電気的故障が起こらないようにするためのものです。確かに、特定の温度を維持するためにこのヒーターが使われます...