ファブを清潔に保ち、歩留まりを高める クラス100のクリーンルームを運用しているなら、粒子が発生するという悩みはよくご存知でしょう。安価なヒーターから出るわずかな破片だけで、ウェーハがダメになってしまいます。これは非常に厄介で、費用もかかり、歩留まりも低下してしまいます。 そのため、私たちは通常の...

ガラスの破片を防ぎ、ウェーハヒーターの故障を防ぐ 高負荷の半導体製造環境において、赤外線ランプが壊れるというのは単なる「停止事象」ではありません。それはまさに悪夢です。 石英管が壊れると、単に動かなくなるだけでなく、ウェーハにガラスの破片や微粒子が飛び散ります。わずかな破損でも、全体のウェーハが不...

化学処理用の浴槽を高温に保つ方法（爆発を防ぎながら） 正直に言うと、半導体の洗浄用浴槽を加熱するのはかなり難しい作業です。まるで細い綱の上を歩くようなものです。一方で、温度を正確にコントロールする必要があります。また、周囲には化学物質の蒸気が存在しており、ちょっとした火花があれば実験室全体が火の海...

Introduction 美しいロフトのサンルームに入ったのに、まるで冷蔵庫の中のように寒く感じたことはありませんか？一般的なヒーターを最大にしても追いつかない。熱は大きなガラス壁を通り抜けて消えてしまいます。 これは根本的に不利な状況です。 そこで、私たちは従来とは異なるものを開発しました。ハロ...