製造現場では、LPCVD炉には熱的なずれを繰り返す余裕はありません。一度でもずれが生じると、膜の厚みが均一でなくなったり、ドーピングされた部分が正しい位置に形成されなかったりして、結果として廃棄されるウェーハが増えてしまいます。私たちは、毎回同じ品質を維持するために、加熱要素をしっかりと設計しまし...

床暖房について—賢い方法で考える。 電気式床暖房は赤外線要素を中心に設計しています。これは単純かつ合理的な理由からで、熱を必要な場所、すなわち空気中ではなく床自体の質量に直接送り届けるためです。 システムの設計担当者にとっての本質的な目標は明確です。ヒーターの出力を部屋の実際の熱損失に合わせること...