なぜシリコンウェーハを加熱するのに金が使われるのか シリコンウェーハを加熱する際、目的の部分に届かないエネルギーは無駄な出費となります。さらに悪いことに、その余分な熱が装置のフレームにこもってしまいます。これは絶対に避けたいことです。 このような問題を防ぐために、炭素繊維製の赤外線ランプに金でコー...

オンリソグラフィ工程のフォトレジストベークは、熱予算がライン幅制御に変わる工程です。ソフトベークの温度がたった1度でも変動すると、溶剤の揮発挙動が変わります。ハードベークでウェハ全体の均一性が保てなければ、CD（クリティカルディメンション）の厳密な均質性は期待できません。ここでカーボンナノチューブ...