なぜ、私たちはバスルーム用のIRランプを厳しい環境でテストするのか バスルームは電子機器にとって過酷な環境です。蒸気だけではありません。極端に寒くなったり、逆に極端に暑くなったりすることが繰り返されます。このような状況によって、部品が膨張したり収縮したりします。そして、そういう状況こそが湿気が内部...

製造現場では、LPCVD炉には熱的なずれを繰り返す余裕はありません。一度でもずれが生じると、膜の厚みが均一でなくなったり、ドーピングされた部分が正しい位置に形成されなかったりして、結果として廃棄されるウェーハが増えてしまいます。私たちは、毎回同じ品質を維持するために、加熱要素をしっかりと設計しまし...

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベークプロファイルは単なる提案ではなく、歩留まりを確保するかスクラップを発生させるかの境界線である。グローブボックス作業では、チャンバーを汚染せずに安定して目標温度に達する熱源が求められる。弊社はその制約内で動作するグローブボックス用赤外線ヒーターエレメントを...