なぜファブのランプにはクォーツシールドが必要なのか 高負荷を要する半導体製造工場では、ランプが故障するというのは単なる迷惑事以上の問題です。それはまさに悪夢です。 赤外線ランプが極端な高温にさらされると、そのガラス製のケースは単に割れるだけでなく、粉々に砕けてしまいます。何の保護もなければ、破片や...

IR硬化技術によるファブ内の二酸化炭素削減 正直に言うと、半導体ファブはネットゼロ目標を達成するために多大なプレッシャーにさらされています。しかし、実際にエネルギーが消費されている場所を見ると、その多くは硬化処理の段階で消費されているのです。 従来の対流式オーブンは、まさに巨大な熱の漏れ源です。製...

なぜシリコンウェーハを加熱するのに金が使われるのか シリコンウェーハを加熱する際、目的の部分に届かないエネルギーは無駄な出費となります。さらに悪いことに、その余分な熱が装置のフレームにこもってしまいます。これは絶対に避けたいことです。 このような問題を防ぐために、炭素繊維製の赤外線ランプに金でコー...

もし、クラス100（ISO 5）の洁净室を運営しているのであれば、粒子による汚染という問題がどれほど深刻か、ご存知でしょう。安価なヒーターから出る微小な破片だけで、ウェーハが壊れてしまいます。それは本当に大惨事です。 だからこそ、私たちは赤外線ランプには高純度の合成石英を使用しているのです。 ほこ...

ファブを清潔に保ち、歩留まりを高める クラス100のクリーンルームを運用しているなら、粒子が発生するという悩みはよくご存知でしょう。安価なヒーターから出るわずかな破片だけで、ウェーハがダメになってしまいます。これは非常に厄介で、費用もかかり、歩留まりも低下してしまいます。 そのため、私たちは通常の...

なぜ、エネルギーの無駄遣いを防ぐために金メッキされたハウジングを使用するのか？ 半導体ウェーハを処理する際、1ワットでも無駄にしてはいけません。もしハウジングの内壁が熱を吸収してしまうと、お金を無駄にするだけでなく、熱の均一性も損なわれます。 そのため、私たちは金メッキされたステンレス鋼を使用しま...

製造現場において、ソフトベイク時の温度変動が0.5℃でも、それはすぐには分からない。しかし、その影響で余裕がなくなり、結果として大量のワークが廃棄されてしまう。リソグラフィーにおいては、推測の余地はなく、計画外の停止も許されない。持続可能な製造プロセスとは、ウェーハあたりの消費電力や、立方フィート...