装置を過度に加熱するのをやめましょう。 通常の赤外線ランプには、問題があります。つまり、熱があらゆる方向に放散されてしまうのです。半導体製造装置では、これは大きな問題です。エネルギーの半分はウェーハに当たりますが、残りの半分は装置の内部壁面を加熱してしまいます。これはエネルギーの無駄遣いであり、装...

なぜ、無鉛乾燥のために赤外線を利用するのか？ 長い間、私たちはすべての部品を大きな対流式オーブンに入れて乾燥させてきました。しかし、今はそのやり方が変わりつつあります。ますます多くの場合で、赤外線を使った乾燥方法に切り替えられています。これは単に「グリーン」な要求に応えるためや、鉛を排除するためだ...

半導体加熱器の配線を正しく行うために 半導体製造工場では、「十分に良い」ということはありません。わずかな電気漏れでも、すべてを台無しにしてしまいます。そのため、このような加熱器にはPTFE（テフロン）コーティングされた配線を使用します。これにより、激しい温度変化にも耐えられ、割れたり、異常なガスが...

クリーンルーム用のトロリーヒーターがずれないようにする方法 半導体製造工場で作業を行う際、トロリーヒーターはウェーハを温めるだけの役割を果たすわけではありません。実際には、無菌室の中で大規模な電気的故障が起こらないようにするためのものです。確かに、特定の温度を維持するためにこのヒーターが使われます...

化学処理用の浴槽を高温に保つ方法（爆発を防ぎながら） 正直に言うと、半導体の洗浄用浴槽を加熱するのはかなり難しい作業です。まるで細い綱の上を歩くようなものです。一方で、温度を正確にコントロールする必要があります。また、周囲には化学物質の蒸気が存在しており、ちょっとした火花があれば実験室全体が火の海...

ファブ内では、乾燥や焼成の過程での温度の変動は、グラフ上にわずかな変動として現れるだけでなく、最終的な歩留まりにも影響を与えます。1℃の温度変動でも、回路の寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。また、汚れたヒーターからは粒子が飛び出し、それが製品の品質を悪化させます。そうした問題を解決するた...