装置を過度に加熱するのをやめましょう。
通常の赤外線ランプには、問題があります。つまり、熱があらゆる方向に放散されてしまうのです。半導体製造装置では、これは大きな問題です。エネルギーの半分はウェーハに当たりますが、残りの半分は装置の内部壁面を加熱してしまいます。これはエネルギーの無駄遣いであり、装置の内部が非常に高温になってしまい、人が怪我をする可能性もあります。また、冷却ファンも過負荷になり、装置が壊れないように必死に動かなければなりません。
理想的な解決策
この問題を解決するために、金でコーティングされたクォーツ製のケースを使用します。金は赤外線を反射する鏡のような役割を果たします。そうすることで、熱がチューブの背面に漏れ出すのを防ぎ、光子が前方に向かって反射されます。その結果、熱が正確に必要な場所に届くのです。熱があちこちに散らばらないため、装置の背面も冷たいままです。つまり、ウェーハに与えるパワーを上げても、装置の内部がサウナのようになることはありません。
設定に関する注意点
単純に交換するだけでは不十分です。金のコーティングによってエネルギーが集中するため、焦点部分の熱密度は、通常のランプの場合よりもはるかに高くなります。そのため、PIDコントローラーの設定を見直す必要があります。もし、通常のランプ用に調整されたシステムに金のランプを使った場合、温度が上昇しすぎて基板が損傷する可能性があります。
実際の効果
実際に装置を保守するエンジニアにとっては、これは大きな救いです。もう、パネルが焼けたり、電子部品が過熱したりする心配はありません。また、熱が特定の方向に向かうため、装置のサイズを小さくすることも可能です。フレームが熱を吸収しないように、大きな空間を確保する必要もありません。これは単純な変更に過ぎません。装置自体を加熱するのではなく、製品自体を加熱するのです。