装置を過度に加熱するのをやめましょう。 通常の赤外線ランプには、問題があります。つまり、熱があらゆる方向に放散されてしまうのです。半導体製造装置では、これは大きな問題です。エネルギーの半分はウェーハに当たりますが、残りの半分は装置の内部壁面を加熱してしまいます。これはエネルギーの無駄遣いであり、装...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために もしあなたがクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、本来あってはならない場所にほこりが付着してしまうという悩みをご存知でしょう。多くの人々はヒーターのことを考えませんが、実際に問題が起こるのはそこです。一般的なランプは、加熱や...

爆発を防ぐために：化学処理エリアでのIR加熱 もし化学物質を扱う洗浄ラインを運用しているなら、その危険性はよく理解しているでしょう。可燃性の溶剤や爆発性のある蒸気が周囲に漂っています。そうした環境では、単純に加熱要素をその中に置くだけでは不十分であり、それはまさに災害を引き起こす行為です。 重要な...