ウェーハ加工装置用温度センサー

ウェーハ処理に不要なエネルギーを浪費するのはやめましょう。 シリコンウェーハを加熱する際、無駄に消費される1ワットたりとも、単なる無駄な出費に過ぎません。 問題は、通常の赤外線ランプではエネルギーがあちこちに散乱してしまうことです。しかし、ウェーハ処理装置では、基板に届く熱だけが重要です。それ以外...