IC用短波長赤外線ランプ

ファブフロアでは素早く学ぶ：ベイク温度の0.1°Cのずれが、重要寸法をナノメートル単位で変動させ、数時間に及ぶリソグラフィ工程を無駄にすることがある。フォトレジスト処理（ソフトベイク、ハードベイク、ポストエクスポージャーベイク）を運用する際、ウェハーレベルの熱均一性は「あってもいいもの」ではなく、...