PID制御型半導体ヒーター

ファブ内では、乾燥や焼成の過程での温度の変動は、グラフ上にわずかな変動として現れるだけでなく、最終的な歩留まりにも影響を与えます。1℃の温度変動でも、回路の寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。また、汚れたヒーターからは粒子が飛び出し、それが製品の品質を悪化させます。そうした問題を解決するた...