ウェハー乾燥用ヒーターランプ

300 mmラインでは、ウェハがベイクトラックに到達した時点で、表面に薄い水分の皮膜が残っています。もしランプがその水分を迅速かつ均一に除去できなければ、次のリソグラフィ工程で問題が顕在化します。エッジビード、レジスト欠陥、CDドリフトが発生し、調整報告書に歩留まり低下として現れます。ヒータランプ...