ガラスの破片を防ぎ、ウェーハヒーターの故障を防ぐ 高負荷の半導体製造環境において、赤外線ランプが壊れるというのは単なる「停止事象」ではありません。それはまさに悪夢です。 石英管が壊れると、単に動かなくなるだけでなく、ウェーハにガラスの破片や微粒子が飛び散ります。わずかな破損でも、全体のウェーハが不...

Introduction 美しいロフトのサンルームに入ったのに、まるで冷蔵庫の中のように寒く感じたことはありませんか？一般的なヒーターを最大にしても追いつかない。熱は大きなガラス壁を通り抜けて消えてしまいます。 これは根本的に不利な状況です。 そこで、私たちは従来とは異なるものを開発しました。ハロ...