タングステンフィラメント石英ランプ

製造現場では、ベイク温度が0.1°C変動するだけで、フォトレジストの形状にナノメートル単位の違いが生じます。そして、その変化は歩留まりの数値にも反映されます。リソグラフィーにおいては、熱管理は重要な要素であり、必ず守らなければならない条件です。私たちは、その条件を守るために、タングステンフィラメン...