ウェーハの表面で熱が無駄に散逸するのを防ぎましょう。 製造プロセスにおいて、エネルギーの無駄遣いは単なるコストの問題ではありません。それは大きな悩みの種です。ウェーハを加熱する際には、単に「熱くする」だけでは不十分です。熱が正確に必要な場所に届くことが重要です。 そのため、私たちは金でコーティング...

水素センサーのための適切な温度設定 水素センサーを製造する際には、ウェーハの温度を正確に管理する必要があります。もし温度がずれてしまうと、作った製品はすべて廃棄処分になってしまいます。しかし問題は、ほとんどのヒーターが大量のエネルギーを無駄にしていることです。これを解決するために、金コーティングさ...

もし、クラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、汚染がもたらす恐怖をご存知でしょう。ほんのわずかなほこりの粒子や化学物質の蒸気だけで、生産した製品全体が台無しになってしまいます。 ほとんどの加熱要素は、このような環境には適していません。高温になると、表面が剥がれたり、有害なVOCが放出...

ウェーハ処理に不要なエネルギーを浪費するのはやめましょう。 シリコンウェーハを加熱する際、無駄に消費される1ワットたりとも、単なる無駄な出費に過ぎません。 問題は、通常の赤外線ランプではエネルギーがあちこちに散乱してしまうことです。しかし、ウェーハ処理装置では、基板に届く熱だけが重要です。それ以外...

ウェーハをきれいな状態で乾燥させるために MEMSセンサー用のウェーハを乾燥させる際、熱だけでは不十分です。実際の問題は、微粒子が発生することです。クラス100の清浄室では、古い断熱材の破片や金属酸化物の微粒さえも、全体の製品を台無しにしてしまいます。これは非常に厄介で、コストもかかります。 だか...