ウェーハの表面で熱が無駄に散逸するのを防ぎましょう。
製造プロセスにおいて、エネルギーの無駄遣いは単なるコストの問題ではありません。それは大きな悩みの種です。ウェーハを加熱する際には、単に「熱くする」だけでは不十分です。熱が正確に必要な場所に届くことが重要です。
そのため、私たちは金でコーティングされた反射板を使用します。赤外線が装置の筐体内に漏れ出すのを防ぎ、その熱を直接ウェーハに戻すのです。
なぜ金か？
多くの人はアルミニウムを使いますが、問題があります。アルミニウムはエネルギーを過剰に吸収してしまいます。まるでボールをスポンジで弾こうとするようなものです。
一方、金は異なります。赤外線領域において非常に高い反射率を持っています。高純度の金層を使用することで、エネルギーの無駄遣いを防ぐことができます。つまり、1ワットあたりの熱量が増え、目標とする温度に到達するのが早くなります。また、ランプが破損する危険性もありません。
正確な焦点の設定
ここが問題が起きやすい部分です。もしビームの焦点が合っていなければ、推測するしかありません。
私たちは放物線形や楕円形の形状を利用して、赤外線を狭く、高密度な領域に集中させます。これにより、必要な場所に正確な温度勾配が得られます。
しかし、バランスも重要です。もし幾何学的な形状が少しでもずれると、ウェーハに熱の集中点ができてしまいます。金はこのような状況を防ぎ、一貫した反射率を保つのです。そうすることで、ウェーハ全体の温度差は数度以内に抑えられます。熱が均一に分布していることは安心できます。
現実的な課題
正直に言うと、金は安くありません。研磨された鋼やアルミニウムよりも高額な投資が必要です。
また、金は繊細です。表面に指紋や油の汚れが一点でもあると、その部分が熱を吸収してしまいます。そうなると、加熱が不均一になり、再び最初からやり直すことになります。
したがって、メンテナンスチームは表面を清潔に保つために細心の注意を払わなければなりません。適切な手順を守らなければ、効率の向上は得られません。