真空対応の赤外線ヒーター

真空対応の赤外線ヒーター：なぜウェーハ製造工場は、0.1℃という高精度な温度制御のために、再び当社のR7sハロゲンランプを選ぶのか 私たちがこの真空対応の赤外線ヒーターを開発したのは、単純な理由からです。それは、チャンバー内の温度を常に安定させるためです。温度の変動や漏れは一切許されず、正確で再現...