ウェーハ表面張力測定用ヒーター

リソグラフィー工程において、ウェーハ全体で0.5℃もの温度差が生じると、オーバーレイマージンやCDコントロールに悪影響を与えます。ソフトベイクやハードベイクでは、不均一な温度分布は許されません。私たちは、このような問題を解決するために、ウェーハ表面の張力を測定するヒーターを開発しました。これにより...