ガラスの破片がウェーハを汚染するのを防ぐ 大量生産ラインでは、ランプが壊れると大変な問題になります。単に停止時間が発生するだけではありません。石英管が壊れると、ガラスの破片や金属の汚れがウェーハ全体に散らばってしまいます。わずか1秒間のミスで、全ての製品が廃棄処分になってしまいます。 私たちは、こ...

ファブフロアでは基本がわかっているはずだ。たとえフォトレジストのベーク温度が0.2℃ズレるだけで、クリティカルディメンションコントロールがオフスペックとなり、歩留まりに影響を与えてしまう。パーティクルの発生や予期せぬ稼働停止を伴わず、繰り返し安定した熱処理が必要だ。 技術的なポイント 当社はIC向...