ガラスの破片がウェーハを汚染するのを防ぐ
大量生産ラインでは、ランプが壊れると大変な問題になります。単に停止時間が発生するだけではありません。石英管が壊れると、ガラスの破片や金属の汚れがウェーハ全体に散らばってしまいます。わずか1秒間のミスで、全ての製品が廃棄処分になってしまいます。
私たちは、このような二次的な汚染が起こる前にそれを防ぐ方法を長い間研究してきました。
ランプが破損する原因
ほとんどの場合、問題は「過熱」にあります。電力が均等に供給されないと、ランプの一部が過熱して破損してしまいます。
これを解決するために、PID制御機能を持つデジタルコントローラーを使用しています。簡単に言えば、フィラメントに負担をかける急激な電流の変動を防ぐのです。また、高純度の石英管を使用しているのも理由の一つです。この石英管は、急激な加熱・冷却にも耐えられ、割れることがありません。
しかし、どんなに優秀なコントローラーを使っていても、筐体内の空気の流れが悪ければ問題です。冷却ファンが故障して熱が逃げないと、ランプは必ず破損します。ですから、適切な空気の流れを確保することが重要です。
実際に保護してくれるハードウェア
私たちはソフトウェアだけに頼るのではありません。加熱要素とウェーハの間に物理的な障壁を設けています。
まず、高温に耐えられる石英製の保護装置を使用しています。これは安全装置として機能し、ランプが破損しても破片が製品に当たらないようにします。
また、「強制的な起動」もやめました。コントローラーがゆっくりと電圧を上げることで、フィラメントが急激な機械的衝撃を受けるのを防ぎます。さらに、内部のガスがクリーンルーム内に漏れ出ないように、密閉性の高いエンドキャップを使用しています。
設置方法
これらの装置は、既存の装置にそのまま取り付けられるように設計されています。フレームを再構築する必要はありません。既存のPLCに接続し、温度を設定すれば、コントローラーがすべてを処理してくれます。
現場でのアドバイス：500時間ごとにランプの端を確認してください。接点部分にカーボンが蓄積していると、抵抗が増加し、過熱につながります。早めにチェックすることで、後で大きな問題を避けることができます。