真空チャンバー内での熱の無駄遣いをやめよう
正直言って、真空チャンバー内でエネルギーを無駄にするのは、単なる悪い設計です。シリコンウェーハを加熱するとき、基板に当たらない1ワットでもすべて無駄になります。その結果、チャンバーの壁が過度に加熱され、冷却システムも余計な負担を強いられます。だからこそ、金メッキされた反射板を使用するのです。これにより、熱が本来あるべき場所に留まります。
なぜ金を使うのか？
多くの人はアルミニウム製の反射板を使いますが、問題は、赤外線エネルギーが多く漏れ出してしまうことです。私たちは高純度の金層を使用します。これにより、長波長や中波長の赤外線を効果的に反射できます。光を単に跳ね返すだけでなく、放射エネルギーを直接ウェーハに送り込むのです。反射板自体がエネルギーを吸収しないため、ほぼ全てのエネルギーが目標の場所に到達します。
高エネルギー密度を得るコツ
ウェーハ上に高いエネルギー密度を得るには、バランスを取る必要があります。ランプの出力と反射板の形状を適切に設定しなければなりません。もし、高出力のランプを精密な金メッキ反射板なしで使用すると、局部過熱や不均一な加熱が起こります。それは混乱を招きます。私たちの金メッキシステムは、ビームを絞り込みます。そうすることで、より迅速に目標温度に到達し、フィラメントが壊れるほど高い電圧を使う必要もありません。
注意点（必ずあるものです）
金はこの仕事に最適な材料ですが、完全に壊れないわけではありません。この表面は繊細です。もし、処理中に腐食性のガスが使用されたり、多量のガスが発生したりすると、金層が劣化してしまいます。そのため、チャンバーを清潔に保つ必要があります。反射板に膜が付着すると、効率が低下し、ウェーハの温度を維持するためにより多くのエネルギーが必要になります。
最後に、これらの装置を安定した電源に接続することをお勧めします。電圧の変動を避ける必要があります。安定した電流によって、放射スペクトルが一定に保たれ、ウェーハ全体に均一な熱が得られます。