真空チャンバー用赤外線ヒーター

真空チャンバー内での熱の無駄遣いをやめよう 正直言って、真空チャンバー内でエネルギーを無駄にするのは、単なる悪い設計です。シリコンウェーハを加熱するとき、基板に当たらない1ワットでもすべて無駄になります。その結果、チャンバーの壁が過度に加熱され、冷却システムも余計な負担を強いられます。だからこそ、...