IC用コンパクト赤外線乾燥機

ファブフロアでは基本がわかっているはずだ。たとえフォトレジストのベーク温度が0.2℃ズレるだけで、クリティカルディメンションコントロールがオフスペックとなり、歩留まりに影響を与えてしまう。パーティクルの発生や予期せぬ稼働停止を伴わず、繰り返し安定した熱処理が必要だ。 技術的なポイント 当社はIC向...