ファブ内では、フォトレジストの焼成は単なる推奨事項ではなく、必ず守らなければならない規格です。ソフトベイクやハードベイクの温度が2°C変動するだけで、ウェーハの寸法に不具合が生じ、欠陥が発生し、最悪の場合はウェーハが廃棄処分されてしまいます。したがって、炉内のランプは、シフトを重ねても安定した熱を...

製造現場では、LPCVD炉には熱的なずれを繰り返す余裕はありません。一度でもずれが生じると、膜の厚みが均一でなくなったり、ドーピングされた部分が正しい位置に形成されなかったりして、結果として廃棄されるウェーハが増えてしまいます。私たちは、毎回同じ品質を維持するために、加熱要素をしっかりと設計しまし...