MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

ウェーハをきれいな状態で乾燥させるために MEMSセンサー用のウェーハを乾燥させる際、熱だけでは不十分です。実際の問題は、微粒子が発生することです。クラス100の清浄室では、古い断熱材の破片や金属酸化物の微粒さえも、全体の製品を台無しにしてしまいます。これは非常に厄介で、コストもかかります。 だか...