
なぜ、バイオセンサーの製造に赤外線を利用するようにしたのか? バイオセンサーを製造するには、さまざまな要素のバランスを取る必要があります。正確な加熱や乾燥処理が不可欠ですが、従来の対流式オーブンでは、製品周辺の空気を温めるだけで莫大なエネルギーが消費されてしまいます。 そこで、私たちはオーブンの代わりに特殊な赤外線ランプシステムを使用することにしました。これにより、より効率的に作業が行え、私たちが目指す「グリーンファクトリー」の実現に一歩近づくことができます。 秘密は、熱がどのように伝わるかにあります。 製造現場では、ウェハ1枚あたりに消費されるエネルギーは非常に重要です。赤外線ランプを使えば、空気が温まるのを待つ必要がありません。熱は直接基板に当たります。 とても速いのです。本当に速いのです。 使用する材料に合わせて波長を調整することで、無駄なエネルギーの消費を防げます。熱は必要な場所にだけ行き、部屋の他の部分には行きません。 ハードウェアの面について 高密度の石英素子を使用しているのは、製造現場での継続的で厳しい負荷に耐えられるからです。これらの素子を正確に配置することで、ウェハ全体に均一な熱が行き渡り、センサーが故障することがありません。 安定性を保つために、PID制御の電源装置を使用しています。これにより、赤外線の出力をリアルタイムで調整し、不均一な温度分布を防ぎます。 しかし、注意点もあります。これらのランプはごく狭い範囲で非常に高温になります。冷却装置が十分でないと、筐体が変形したり、光学系に悪影響が出たりします。適切な冷却が必要です。そうでなければ、全てが台無しになってしまいます。 炭素排出量の削減 最も良い点は、これによって地球環境が守られるということです。センサーの硬化にかかる時間を大幅に短縮することで、電力の消費量も大幅に減少します。 これは、よりクリーンなクリーンルームを実現するための簡単な方法です。特に脱水工程で大きな効果があります。エネルギー消費の多い真空オーブンの代わりに赤外線を使用することで、同じ作業を行えますが、エネルギーコストはずっと低く抑えられます。