なぜ、エネルギーの無駄遣いを防ぐために金メッキされたハウジングを使用するのか？ 半導体ウェーハを処理する際、1ワットでも無駄にしてはいけません。もしハウジングの内壁が熱を吸収してしまうと、お金を無駄にするだけでなく、熱の均一性も損なわれます。 そのため、私たちは金メッキされたステンレス鋼を使用します。これは、ウェーハに届く赤外線エネルギーをすべて有効活用したいという問題を簡単に解決する方法です。つまり、内壁ではなく、ウェーハにエネルギーが届くようにするのです。
金の魔法（簡単に言えば）
磨かれたステンレス鋼でも、ある程度の熱は反射します。しかし、高強度の赤外線ランプの短波長の光に対しては、「ある程度」というわけにはいきません。 一方、金は異なります。赤外線エネルギーの98％以上を反射します。ヒーターハウジングの内側に薄い金膜を追加することで、全体を高性能な熱反射鏡に変えることができます。そうすることで、ハウジングがエネルギーを吸収して熱くなる代わりに、エネルギーは本来あるべき場所に留まります。
どのように作られているのか
まず、ステンレス鋼から始めます。ステンレス鋼は丈夫で、重さにも耐えられ、高温になっても剥がれ落ちることはありません。次に、ビームを集中させるために、形状を特別に調整します。 結果として、ウェーハの温度がより速く上昇します。これは、処理時間を大幅に短縮することにつながります。 ただし、注意点もあります。金は少しデリケートです。もし、処理過程で腐食性のあるガスが使われたり、汚れが付着したりすると、そのコーティングが摩耗し始めます。その結果、反射率が下がり、効率も低下します。金の表面をきれいに保つためには、適切な保護が必要です。
ラインに組み込む方法
設置時には正確さが求められます。もしランプが数ミリメートルだけずれていると、焦点がずれてしまいます。そうすると、ウェーハに熱が集中し、歩留まりが悪くなります。 私たちは、これらを既存のサーマルモジュールの代替品として設計しましたが、まずは電源がピーク負荷に耐えられるかを確認してください。そして、冷却ファンもしっかりチェックしてください。多少の熱は必ず誤った方向に向かいますが、その余分なエネルギーがセンサーをダメにしないようにしなければなりません。