装置をスペースヒーターのように使わないでください
ほとんどの加熱素子は、エネルギーをあちこちに放出してしまいます。クリーンルームでは、これは大きな問題です。もし、あらゆる方向に熱を放出するランプを使用していると、装置の内側の壁面がその熱をすべて吸収してしまいます。
その結果、装置のケースが高温になり、熱源のすぐ隣にある敏感な部品が損傷するリスクが高くなります。これは非常に厄介な状況です。
熱漏れを解決する方法
この問題を解決するには、指向性のある赤外線ランプを使用します。円形に熱を放出するタイプのランプとは異なり、このランプは反射材や特殊なコーティングを使って、赤外線エネルギーを特定の方向に送り込みます。
まるで懐中電灯のようなものです。熱を必要な場所、つまりワークピースに直接当て、ケース自体が過度に熱くなるのを防ぎます。そうすれば、ウェーハは適切な温度を保ち、装置のケースも巨大なラジエーターのようになりません。
安全上の観点からも重要です
これは単に効率の問題だけではありません。実際に機械を操作する人の安全にも関わってきます。
もし、技術者が作業中に装置の中に手を入れる必要がある場合、装置自体が発する熱によってケガをする心配がありません。ビームを絞ることで、装置内部の空気がずっと涼しく保たれます。これにより、より安全になります。
ただし、注意点もあります
指向性のあるランプは素晴らしいですが、使い方には注意が必要です。単純に取り付けただけでは不十分です。
もし、調整が少しでも狂ってしまうと、部品の一部が寒くなってしまいます。取り付けブラケットはしっかり固定されていなければなりません。振動や角度の変化があると、熱が目的の場所から外れてしまいます。
また、安定した電源も必要です。電力の不安定さがあると、温度が乱れてしまいます。PID設定をしっかり行えば、安定した出力が得られます。