なぜUHP赤外線硬化法が地球にとっても、また製造プロセスにとっても有益なのか
半導体工場において、「清潔さ」は単なる目標ではなく、最も重要な要素です。ウェーハに汚れが残っていれば、それは問題です。
長年にわたり、私たちは大容量の対流式オーブンを利用してきました。しかし正直なところ、これらのオーブンは容積が大きく、電力を多く消費し、さらには化学溶剤を使用する必要があります。今では、そうした溶剤の使用は望ましくありません。そのため、私たちはUHP（超高純度）赤外線ランプを採用しています。これにより、よりクリーンな環境で作業でき、二酸化炭素の排出量も減少します。また、「無鉛化」の要件を簡単に満たすことができます。
放射熱の魔法
強制送風システムの場合、部品周辺の空気を温めるために多くのエネルギーが無駄に消費されます。一方、UHPランプはそうした手間を省きます。電磁波を使って直接基板に熱を与えるのです。
これらのランプには高純度の石英製のケースが使用されています。なぜでしょうか？金属イオンや不純物がウェーハに付着してはいけないからです。これにより、クリーンルームの基準を維持しつつ、大量生産にも対応できます。
速度、効率、そして注意点
私たちは、速度を重視して、高ワット数/平方センチメートルのランプを設計しています。このように放射エネルギーを集中させることで、硬化時間は数分から数秒に短縮されます。本当に速いのです。そして、これによってエネルギーコストも大幅に削減されます。
しかし、注意点もあります。冷却システムを適切に管理する必要があります。ランプの出力に合わせて空気の流れを調整しないと、ランプの先端が過熱し、フィラメントが早く劣化してしまいます。これは非常に強力なツールですが、適切に扱う必要があります。
地球にも、工場にも良い
無鉛化による硬化処理では、より高い温度と厳格なタイミング制御が求められます。ここで赤外線が活躍します。波長を調整することで、フォトレジストや接着剤の特性に合わせて最適な条件を実現できます。
機械の本体や部屋の空気にエネルギーが無駄に消費されることはありません。目的の部分に直接熱を与えるだけです。
さらに、これらのランプは、従来の大型オーブンに代わる優れた選択肢です。スペースを大幅に節約でき、ほぼ瞬時に起動します。巨大なオーブンが予熱するのを待つ必要もありません。VOCを含む溶剤を使わないため、生産速度を落とすことなく環境規制をクリアできます。これは、より賢明な製造方法です。