장비를 과도하게 가열하는 것을 그만두세요.
일반적인 적외선 램프의 문제점은, 열이 모든 방향으로 퍼진다는 것입니다. 반도체 제조 장비에서는 이것이 큰 문제가 됩니다. 에너지의 절반은 웨이퍼에 도달하지만, 나머지 절반은 장비 내부의 벽면을 데우는 데 사용됩니다. 이는 에너지 낭비일 뿐만 아니라, 장비 내부가 너무 뜨거워져 사람이 화상을 입을 수도 있습니다. 게다가, 장비가 과열되는 것을 막기 위해 냉각팬도 더욱 열심히 작동해야 합니다.
최적의 해결책
이 문제를 해결하기 위해 우리는 금으로 코팅된 석영 커버를 사용합니다. 금은 적외선을 반사하는 역할을 합니다. 따라서 열이 튜브 뒤쪽으로 빠져나가는 대신, 그 에너지가 앞쪽으로 반사됩니다. 그 결과, 열이 정확히 필요한 곳에만 집중됩니다. 열이 여기저기 퍼지지 않으므로, 장비의 뒷부분도 시원하게 유지됩니다. 그래서 웨이퍼에 가하는 에너지를 높여도 장비 내부가 너무 뜨거워지지 않습니다.
설치 시 주의사항
그냥 이 부품들을 교체하기만 하면 안 됩니다. 금 코팅이 모든 에너지를 집중시키기 때문에, 초점 부위의 열 밀도는 일반 램프보다 훨씬 높습니다. 따라서 PID 컨트롤러를 잘 조절해야 합니다. 만약 금 코팅된 램프를 일반 램프용으로 설정된 시스템에 그대로 사용한다면, 온도가 너무 높아져 기판이 손상될 수 있습니다.
실제 현장에서의 효과
이러한 장비를 관리하는 엔지니어들에게는 큰 도움이 됩니다. 더 이상 패널이 손상되거나 전자 부품이 과열되는 일이 없습니다. 또한 열이 특정 방향으로 집중되므로, 장비의 크기를 줄일 수 있습니다. 프레임이 열을 흡수하지 않도록 하기 위해 넓은 공간을 필요로 하지 않습니다.
간단히 말해, 장비를 가열하는 대신 제품을 가열하는 것입니다.