MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

웨이퍼를 깨끗하게 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때 열은 단지 일부분에 불과합니다. 진짜 문제는 미세한 이물질들이 생기는 것입니다. 클라스 100급 청정실에서는 아주 작은 양의 오래된 절연체 조각이나 금속 산화물 입자만으로도 전체 웨이퍼가 망가질 수...