텅스텐 필라멘트 석영 램프

제조 공정에서는 베이킹 온도가 0.1°C만 변동해도 포토레지스트의 특성에 나노미터 단위의 변화가 생기며, 이러한 변화는 생산량 데이터에 반영됩니다. 리소그래피 공정에서는 열 관리가 선택 사항이 아니라 필수적인 요소입니다. 우리는 이러한 조건을 충족시키기 위해 텅스텐...