실리콘 카바이드(SiC) 로등
생산 현장에서는 포토레지스트를 가열하는 과정이 단순한 권장 사항이 아니라 반드시 준수해야 하는 규격입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크의 온도가 2°C만 변동해도 치명적인 결함이 발생할 수 있으며, 그로 인해 웨이퍼가 폐기되게 됩니다. 따라서 오븐 내부의 램프는 일관...
LPCVD 용광로 가열 요소
생산 현장에서는 LPCVD 용광로가 열 변동으로 인해 두 번째 기회를 얻을 수 없습니다. 단 한 번의 오차만 있어도 필름의 두께가 고르지 않아지고, 도핑된 접합부가 제대로 위치하지 않으며, 결국 폐기될 웨이퍼들이 생겨납니다. 저희는 매번 일관된 열 관리가 이루어질 수...