왜 팹 램프에 석영 보호판이 필요한가요? 고부하가 요구되는 반도체 제조 공장에서는 램프가 고장 나는 것이 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 진짜 악몽입니다. 적외선 램프가 극심한 열로 인해 고장 나면, 그 유리관은 그냥 깨지는 것이 아니라 산산조각 납니다. 보호 장치가...

제조 공정에서는 베이킹 온도가 0.1°C만 변동해도 포토레지스트의 특성에 나노미터 단위의 변화가 생기며, 이러한 변화는 생산량 데이터에 반영됩니다. 리소그래피 공정에서는 열 관리가 선택 사항이 아니라 필수적인 요소입니다. 우리는 이러한 조건을 충족시키기 위해 텅스텐...