반도체용 금 도금 적외선 램프
장비를 과도하게 가열하는 것을 그만두세요.
일반적인 적외선 램프의 문제점은, 열이 모든 방향으로 퍼진다는 것입니다. 반도체 제조 장비에서는 이것이 큰 문제가 됩니다. 에너지의 절반은 웨이퍼에 도달하지만, 나머지 절반은 장비 내부의 벽면을 데우는 데 사용됩니다. 이는...
반도체 히터용 써모커플
왜 우리가 무연 건조를 위해 적외선 기술을 사용하는가?
오랫동안 우리는 모든 것을 대형 대류 오븐에 넣고 그냥 최선을 기다렸습니다. 하지만 이제는 상황이 바뀌고 있습니다. 점점 더 많은 회사들이 적외선 기술을 활용하고 있습니다. 이는 단순히 ‘친환경’ 요구사항을 충족...
반도체 히터용 테플론 와이어
반도체 히터의 배선을 올바르게 하는 방법
반도체 공장에서는 “충분히 가깝다”는 개념은 존재하지 않습니다. 아주 약간의 전기 누설만으로도 모든 것이 망가질 수 있습니다. 그래서 우리는 이러한 히터에 PTFE(테플론)로 코팅된 배선을 사용합니다. 이 물질은 극심한 온도...
반도체 청정실용 트롤리 히터
클린룸용 트롤리 히터가 흔들리지 않도록 하는 방법 반도체 공장에서 작업할 때, 트롤리 히터는 웨이퍼를 따뜻하게 유지하는 역할뿐만 아니라, 무균실 내에서 갑작스러운 전기적 문제가 발생하지 않도록 하는 역할도 합니다. 물론, 이 히터들은 특정 온도를 유지하도록 설계되어...
에너지 절약형 반도체 히팅
화학액이 담긴 용기의 온도를 유지하는 방법 (폭발을 막으며)
솔직히 말해, 반도체 세척용 용기의 온도를 조절하는 것은 꽤 어려운 일입니다. 한편으로는 정확한 온도가 필요하지만, 다른 한편으로는 화학물질들로 인해 작은 불꽃만 있어도 실험실이 폭발할 수 있습니다.
그런...
PID 제어 반도체 히터
제조 현장에서는 건조나 소결 과정 중에 온도가 변동하면, 그 변동이 단순히 그래프상의 오류로만 나타나는 것이 아니라, 최종 제품의 품질에 직접적인 영향을 미칩니다. 1°C의 온도 변동만으로도 치명적인 결함이 발생할 수 있으며, 더러운 히터는 입자를 방출하여 제품을 망...