왜 웨이퍼의 경화 공정에 적외선 기술을 사용하는가? 최근에는 적외선을 이용한 경화 방식이 점점 더 많이 사용되고 있습니다. 그 이유는 당연합니다. 우리는 용매를 사용하는 가열 방식과 그로 인해 발생하는 엄청난 탄소 배출량을 줄이고자 합니다. 클린룸에서 “환경 친화적”...

와이어의 표면에서 열이 낭비되는 것을 막으세요. 팹에서 에너지가 낭비된다는 것은 단순히 예산 문제가 아니라 심각한 문제입니다. 와이어를 가열할 때는 그저 뜨거워지기만 하는 것이 아니라, 열이 정확히 필요한 곳에 전달되어야 합니다. 그래서 우리는 금으로 코팅된 반사체를...

유리 조각들로부터 웨이퍼를 보호하세요: 웨이퍼 가열기가 고장 나는 것을 막아보세요. 고부하를 요구하는 반도체 생산 환경에서는 적외선 램프가 고장나는 것은 단순한 ‘가동 중단’에 그치지 않습니다. 그것은 진정한 재앙입니다. 쿼츠 튜브가 고장나면, 그냥 작동을 멈추는 것...

웨이퍼 가공에 불필요한 에너지를 낭비하지 마세요. 실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 낭비되는 에너지는 곧 돈의 손실을 의미합니다. 문제는 일반적인 적외선 램프가 에너지를 사방으로 방출한다는 것입니다. 하지만 웨이퍼 가공 과정에서는 기판에만 열이 전달되어야 합니다. 그 외의...

웨이퍼를 깨끗하게 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때 열은 단지 일부분에 불과합니다. 진짜 문제는 미세한 이물질들이 생기는 것입니다. 클라스 100급 청정실에서는 아주 작은 양의 오래된 절연체 조각이나 금속 산화물 입자만으로도 전체 웨이퍼가 망가질 수...

고순도 석영 인파란 램프: 클래스 100 청정실에 필요한 깨끗한 열 에너지 클래스 100 청정실에서 웨이퍼를 가공할 때는 오염 방지가 매우 중요합니다. 어떠한 타협도 용납될 수 없습니다. 당사의 고순도 석영 인파란 램프는 바로 이러한 상황을 위해 만들어졌습니다. 이...

300 mm 라인에서 웨이퍼는 표면에 얇은 수분막을 그대로 지닌 채 베이크 트랙에 진입한다. 램프가 그 수분을 빠르고 고르게 제거하지 못하면, 다음 리소그래피 공정에서 에지 비드, 레지스트 결함, 그리고 CD 드리프트가 발생하며, 이는 리컨실리에이션 리포트 상에서 수...