웨이퍼 가공에 불필요한 에너지를 낭비하지 마세요.
실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 낭비되는 에너지는 곧 돈의 손실을 의미합니다.
문제는 일반적인 적외선 램프가 에너지를 사방으로 방출한다는 것입니다. 하지만 웨이퍼 가공 과정에서는 기판에만 열이 전달되어야 합니다. 그 외의 모든 것은 무의미한 것입니다. 우리는 금 코팅 기술을 사용하여 이 문제를 해결합니다. 에너지가 장비 내부로 새어 나가는 대신, 그 에너지를 다시 웨이퍼 위로 보냅니다.
왜 금일까요?
금은 적외선 반사율이 매우 높기 때문입니다.
대부분의 사람들은 알루미늄 반사체를 사용하지만, 온도가 높아지면 알루미늄은 너무 많은 열을 흡수합니다. 반면 금은 거의 손실 없이 광자를 다시 반사해냅니다. 그래서 전원에서 공급된 에너지가 모두 웨이퍼의 표면 온도를 높이는 데 사용됩니다.
중요한 것은 초점입니다.
우리는 단순히 빛을 반사하는 것이 아니라, 그 빛을 특정 위치에 집중시킵니다. 금 코팅 처리된 케이스의 형태는 그 열을 특정 부위에 집중시키도록 설계되어 있습니다. 이렇게 하면 목표 온도에 더 빨리 도달할 수 있습니다. 또한, 열 분포도 훨씬 더 일정해집니다. 300mm 크기의 웨이퍼를 가공할 때는 이 방법이 전체적인 가공 품질을 유지하는 유일한 방법입니다.
단점과 그 해결 방법
그러나 이렇게 많은 에너지를 집중시키는 데에는 단점도 있습니다. 웨이퍼에 너무 많은 열이 가해지므로, 공기 흐름이 제대로 되지 않으면 케이스 자체가 손상될 수 있습니다. 따라서 냉각 팬과 히트 싱크가 제대로 작동하는지 확인해야 합니다. 케이스가 너무 뜨거워지면 변형될 수 있으며, 그러면 초점이 흐트러져 웨이퍼에 차가운 부분이 생길 수 있습니다. 이는 바람직하지 않습니다.
좋은 소식은, 이러한 시스템들이 기존의 적외선 배열을 대체할 수 있도록 설계되었다는 것입니다. 기존의 컨트롤러에 연결하기만 하면 됩니다. 물리 법칙과 싸우지 않아도 되므로, 장비가 목표 온도에 훨씬 빠르게 도달합니다.