와이퍼 표면 장력 측정용 히터
리소그래피 공정에서는 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.5°C 정도의 온도 차이가 발생할 수 있으며, 이로 인해 오버레이 마진과 CD 제어가 손상될 수 있습니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 방식으로도 불균일한 열분포를 해결할 수 없습니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해...
웨이퍼 가공용 예비 부품 온라인 판매
300mm 제조 라인에서는 포토레지스트를 부드럽게 건조시키는 과정에서의 온도 변동이나 웨이퍼 건조 중에 발생하는 이물질 문제를 용납할 수 없습니다. 열 관리가 매우 중요한 상황에서는 가열 요소가 단순한 하드웨어가 아니라, 공정 자체와 직결된 요소입니다. 당사의 온라인...