와이퍼 표면 장력 측정용 히터

리소그래피 공정에서는 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.5°C 정도의 온도 차이가 발생할 수 있으며, 이로 인해 오버레이 마진과 CD 제어가 손상될 수 있습니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 방식으로도 불균일한 열분포를 해결할 수 없습니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해...