IC용 단파 적외선 램프

Role 현장에서는 빠르게 배우게 된다: 베이크 온도가 0.1°C만 변해도 중요한 치수가 나노미터 단위로 이동하며, 수 시간에 걸친 리소그래피 작업이 무용지물이 될 수 있다. 포토레지스트 공정—소프트 베이크, 하드 베이크, 노광 후 베이크—를 진행할 때 웨이퍼 수준의...