왜 팹 램프에 석영 보호판이 필요한가요? 고부하가 요구되는 반도체 제조 공장에서는 램프가 고장 나는 것이 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 진짜 악몽입니다. 적외선 램프가 극심한 열로 인해 고장 나면, 그 유리관은 그냥 깨지는 것이 아니라 산산조각 납니다. 보호 장치가...

IR 경화 기술을 활용해 공장 내의 탄소 배출을 줄이자 솔직히 말해서, 반도체 공장들은 넷-제로 목표를 달성하기 위해 엄청난 압력을 받고 있습니다. 하지만 실제로 에너지가 어디서 낭비되는지 살펴보면, 그 대부분은 제품을 가열하는 과정에서 발생합니다. 전통적인 대류식...

왜 실리콘 웨이퍼를 가열할 때 금을 사용하는가? 실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 목표물에 도달하지 않는 에너지는 그저 낭비된 돈일 뿐입니다. 더욱 문제인 것은, 그 낭비된 열이 기계의 프레임으로 전달된다는 점입니다. 이는 결코 원치 않는 상황입니다. 이러한 문제를 해결하...

만약 클래스 100(ISO 5) 수준의 공장을 운영하고 있다면, 입자 오염이라는 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 저가형 히팅 요소에서 나오는 아주 작은 조각들만으로도 웨이퍼가 파괴될 수 있습니다. 이는 정말 큰 재앙입니다. 그래서 우리는 적외선 램프에 고순도 합성 석...

깨끗한 환경을 유지하여 생산성을 높이세요. 만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 입자가 발생하는 문제가 얼마나 심각한지 잘 알고 있을 것입니다. 저렴한 히팅 요소에서 나오는 작은 조각들만으로도 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 이는 매우 성가신 문제이며, 비용...

왜 에너지 낭비를 막기 위해 금 도금된 하우징을 사용하는가? 반도체 웨이퍼를 가공할 때는 모든 와트가 중요합니다. 만약 하우징의 벽면이 열을 반사하지 못하고 흡수한다면, 그것은 곧 돈의 낭비이자 열 균일성에 문제가 생길 수 있습니다. 그래서 우리는 금 도금된 스테인리...

팹에서는 소프트 베이크 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변동이 생겨도 이를 즉시 알아차릴 수 없습니다. 그점차적으로 제품의 품질이 저하되어 결국 전체 생산량이 폐기물로 전락하게 됩니다. 리소그래피 공정에서는 추측할 여지가 없으며, 예상치 못한 중단도 용납될 수 없습니다...