진공 챔버에서의 열 손실을 막아보세요. 솔직히 말해서, 진공 챔버 내에서 에너지가 낭비되는 것은 형편없는 설계입니다. 실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 기판에 닿지 않는 모든 와트는 낭비된 에너지입니다. 그 에너지는 결국 챔버의 벽을 뜨겁게 만들고, 냉각 시스템도 불필요하...

진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터: 왜 웨이퍼 제조 공장들은 0.1°C의 정밀한 온도 제어를 위해 계속해서 저희의 R7s 할로겐 램프를 선택하는가? 저희가 이러한 진공 환경에 적합한 적외선 히터를 만든 이유는 단 하나입니다. 바로 챔버 내부의 온도를 꾸준하게...